ITO靶材,全称氧化铟锡靶材,是一种专门用于磁控溅射镀膜的材料。氧化铟锡(简称ITO)是一种n型半导体材料,通常由90%的氧化铟(In₂O₃)和10%的氧化锡(SnO₂)组成。这种材料以其的透明度和导电性,成为现代电子工业中不可或缺的组成部分。无论是智能手机的触摸屏、平板电脑的显示面板,还是太阳能电池的透明电极,ITO靶材都以其独特的功能支撑着这些设备的运行。
制造ITO靶材是一项技术密集型的工作,涉及从原料配比到成型加工的多个环节。高质量的ITO靶材需要具备高密度、均匀性和稳定性,而这些要求背后隐藏着复杂的工艺和诸多挑战。
制备完成后,ITO靶材在实际应用中还会遇到一些问题:
溅射不均匀:如果靶材内部存在微小缺陷或成分偏差,溅射过程中可能出现局部过热,导致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率溅射时,靶材承受的热应力可能超出其极限,造成破裂,进而影响生产线的连续性。
资源限制:ITO靶材依赖铟这种稀有金属,而铟的全球储量有限,价格波动较大。这不仅推高了成本,也促使业界寻找替代方案。
铟回收面临的主要挑战包括铟在电子设备中的低浓度和与其他金属的合金化。传统的回收方法难以有效提取,需要采用湿法冶金或火法冶金等先进技术。同时,回收过程中需确保电子废物流的分类和处理,以减少污染物对回收过程的影响。