目前，ITO靶材的制备主要有两种常见方法：热压烧结法和冷等静压法。

热压烧结法

工艺流程：将氧化铟和氧化锡粉末按比例混合后，放入模具，在高温（1000-1500°C）和高压（几十到几百兆帕）下压制成型。高温使粉末颗粒熔融结合，形成致密的靶材结构。

优点：这种方法制备的靶材密度接近理论值（通常超过99%），晶粒分布均匀，适合高精度镀膜需求。

缺点：设备复杂，能耗高，生产成本较高。

适用场景：高端电子产品，如智能手机、平板电脑的显示屏制造。

ITO靶材，即铟锡氧化物靶材，主要由氧化铟（In₂O₃）和氧化锡（SnO₂）组成，其中氧化铟占比高达90%。ITO靶材因其优异的导电性和高透光性，成为液晶显示器（LCD）、触摸屏及太阳能电池等光电设备的理想材料。其晶体结构稳定，电导率高，确保了设备的运行。

透明导电薄膜在现代光电行业中具有至关重要的地位，是触摸屏、显示器和太阳能电池等设备中的核心组件。ITO靶材凭借其出色的透明导电特性成为制备透明导电薄膜的材料。

ITO靶材的应用主要集中在以下几个领域：

显示技术：ITO薄膜用于LCD、OLED等显示器件中的透明电极，确保设备既能透光显示图像，又能导电传输信号。

触控技术：电容式和电阻式触摸屏使用ITO作为电极材料，其透明性和导电性决定了触控设备的灵敏度和视觉效果。

光伏技术：ITO薄膜作为太阳能电池的前电极材料，具有高透明性，能够保证光线有效进入吸收层，从而提升光电转换效率。

智能建筑与汽车应用：智能窗、加热膜等系统中也使用ITO薄膜，其良好的导电性和耐环境稳定性使其在智能玻璃和汽车加热玻璃等应用中表现出色。