冷等静压法
工艺流程:将混合粉末装入柔性模具,在室温下通过高压(100-300兆帕)压制成型,随后在较低温度下烧结固化。
优点:工艺相对简单,生产成本较低,适合小批量或定制化生产。
缺点:靶材密度和均匀性稍逊,可能在高功率溅射中表现不够稳定。
适用场景:中低端电子产品或实验室研发用靶材。
这两种方法各有千秋,制造商需要根据具体需求权衡成本与性能。
制备完成后,ITO靶材在实际应用中还会遇到一些问题:
溅射不均匀:如果靶材内部存在微小缺陷或成分偏差,溅射过程中可能出现局部过热,导致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率溅射时,靶材承受的热应力可能超出其极限,造成破裂,进而影响生产线的连续性。
资源限制:ITO靶材依赖铟这种稀有金属,而铟的全球储量有限,价格波动较大。这不仅推高了成本,也促使业界寻找替代方案。
随着高科技产业的迅猛发展,稀有金属铟的需求日益增长。铟靶材与ITO靶材作为关键材料,在电子、光电及半导体等领域发挥着重要作用。本文旨在探讨铟靶材与ITO靶材的区别,以及它们在回收技术、环保与经济效益方面的差异。
氧化铟是一种宽禁带半导体,具有良好的光学透明性,而氧化锡的引入则增强了材料的导电性。这种成分结构使得ITO材料在保证高透光率的同时也具有低电阻率,兼具光学和电学性能。ITO靶材的这一独特特性使其成为透明导电膜的主流材料,尤其适用于要求高透明度的光电设备和显示技术。