ITO靶材,全称氧化铟锡靶材,是一种专门用于磁控溅射镀膜的材料。氧化铟锡(简称ITO)是一种n型半导体材料,通常由90%的氧化铟(In₂O₃)和10%的氧化锡(SnO₂)组成。这种材料以其的透明度和导电性,成为现代电子工业中不可或缺的组成部分。无论是智能手机的触摸屏、平板电脑的显示面板,还是太阳能电池的透明电极,ITO靶材都以其独特的功能支撑着这些设备的运行。
冷等静压法
工艺流程:将混合粉末装入柔性模具,在室温下通过高压(100-300兆帕)压制成型,随后在较低温度下烧结固化。
优点:工艺相对简单,生产成本较低,适合小批量或定制化生产。
缺点:靶材密度和均匀性稍逊,可能在高功率溅射中表现不够稳定。
适用场景:中低端电子产品或实验室研发用靶材。
这两种方法各有千秋,制造商需要根据具体需求权衡成本与性能。
ITO靶材,即铟锡氧化物靶材,主要由氧化铟(In₂O₃)和氧化锡(SnO₂)组成,其中氧化铟占比高达90%。ITO靶材因其优异的导电性和高透光性,成为液晶显示器(LCD)、触摸屏及太阳能电池等光电设备的理想材料。其晶体结构稳定,电导率高,确保了设备的运行。
铟回收具有重要的环保和经济效益。通过回收废旧靶材中的铟,可以减少对新资源的开采,降低环境污染,实现资源的可持续利用。此外,回收铟还能稳定市场供应,降低生产成本,促进相关产业的可持续发展。