ITO靶材的核心用途是在磁控溅射工艺中作为“溅射源”。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术,通过高能离子轰击靶材表面,使靶材原子被“敲击”出来,终沉积在基板上,形成一层均匀的ITO薄膜。这层薄膜厚度通常在几十到几百纳米之间,却能同时实现导电和透光的功能。
冷等静压法
工艺流程:将混合粉末装入柔性模具,在室温下通过高压(100-300兆帕)压制成型,随后在较低温度下烧结固化。
优点:工艺相对简单,生产成本较低,适合小批量或定制化生产。
缺点:靶材密度和均匀性稍逊,可能在高功率溅射中表现不够稳定。
适用场景:中低端电子产品或实验室研发用靶材。
这两种方法各有千秋,制造商需要根据具体需求权衡成本与性能。
制备完成后,ITO靶材在实际应用中还会遇到一些问题:
溅射不均匀:如果靶材内部存在微小缺陷或成分偏差,溅射过程中可能出现局部过热,导致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率溅射时,靶材承受的热应力可能超出其极限,造成破裂,进而影响生产线的连续性。
资源限制:ITO靶材依赖铟这种稀有金属,而铟的全球储量有限,价格波动较大。这不仅推高了成本,也促使业界寻找替代方案。
在智能手机、平板电脑、超清电视的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化铟锡)是赋予其透明导电魔力的核心材料。作为ITO靶材的关键成分,铟(In)的稳定供应直接关系到全球万亿级显示产业的命脉。然而,这种稀散金属的地缘分布不均(中国储量占全球70%以上)和原生矿产的有限性,使得铟的回收再利用不再是环保课题,更成为保障产业、实现供应链韧性的“闭环”革命。